关键词:湿电子化学品、G5试剂、高纯试剂、10ppt、0.01ppb、Savillex、进口PFA瓶
湿电子化学品又称超净高纯试剂或工艺化学品,是指主体成分纯度大于 99.99%,杂质离子和微粒数符合严格要求的化学试剂。是微电子光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料,是电子技术与化工材料相结合的创新产物,具有用途关键性、厂商高垄断性、品种多样性、行业高增长性等特点。
国际半导体设备与材料组织(SEMI)将湿电子化学品按金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等指标制定国际等级分类标准,如下图所示:
湿电子化学品常常易燃、易爆、强腐蚀,不仅要求产品在贮存的有效期内杂质及颗粒不能有明显的增加,而且要求包装后的产品在运输及使用过程中对环境不能有泄漏的危险。目前广泛使用的包装材料是高密度度聚乙烯(HDPE)、四氟乙烯和氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)。
根据湿电子化学品的级别不同,选用不同的包装物:
G1-G4湿电子化学品通常选用HDPE瓶做为包装物;
G5金属杂质含量在10ppt以下,对于包装物的洁净度及杂质析出度要求极高,必须选用PFA材质的包装瓶。
PFA材质包装瓶因其选用的原料及生产工艺的不同,又分为不同的等级。
国产包装容器在杂质溶出量、颗粒脱落量等指标方面与进口容器仍存一定差距
目前国际上的高纯试剂生产商大多数选用以科慕(原杜邦)的PFA原料生产的包装瓶,其中认可度的是美国Savillex PFA包装瓶,使用Savillex PFA高纯试剂包装瓶储存G5级试剂1年以上仍能保持试剂的品质稳定如初。
目前Savillex生产PFA制品已40多年,其PFA高纯试剂包装瓶已被如默克等国内外众多高纯试剂厂家选用,有效保障试剂从产出至开封的那一刻,品质始终如一,不会因为运输及长期储存的杂质析出而污染试剂,品质经过了大量客户实践检验
Savillex PFA高纯试剂包装瓶有50、100、250、500、1000和2000ml共计6种规格。除了50ml的是33mm的口径,100~2000均为GL45标准口径。做为高纯试剂包装瓶,常用的是500ml和2000ml。